Описание:

Система для сухого травления хлористым водородом (HCl) CVD Equipment Corporation - это производственная установка с автоматическим управлением для травления хлористым водородом или вакуумного отжига токоприемников для предварительной обработки и удаления отложений. Установка способна работать при температурах больше 1200 °C с водородом и хлористым водородом. Установка используется при производстве светодиодов для очистки графитовых токоприемников и кварца, используемого в системах химического осаждения из паровой фазы металлоорганических соединений (MOCVD) и парофазной эпитаксии (VPE).

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации и отображения данных, создания и редактирования набора команд
• Установка для травления очищает отложения III-V на графитовых токоприемниках с помощью сухого травления с применением газа HCl при высокой температуре, вместо влажного травления кислотой. Сухое травление происходит быстрее и чище по сравнению с влажным травлением при очистке токоприемников и исключает необходимость последующего процесса отжига, увеличивая срок эксплуатации токоприемника. Оно также используется для подготовки новых токоприемников и увеличения производительности и выработки посредством устранения загрязняющего осадка, который может остаться после влажного травления.
• Применение процесса сухого травления позволяет сохранить характеристики токоприемника на том же уровне благодаря исключению появления жидкого и влажного осадка. Это позволяет получать результаты с высокой повторяемостью при напылении пленки для разных партий.
• Токоприемник готов к использованию после сухого травления. На токоприемнике не остается осадка и отсутствует загрязнение.
• Одна установка для травления HCl поддерживает пять (5) или более реакторов MOCVD/VPE.
• Установка для травления HCl позволяет очищать токоприемники на производстве, сокращая суммарные затраты.
• Установка для травления HCl разработана для очистки деталей/элементов методом сухого травления. 

Под управлением CVDWinPrC™

Системы, работающие под управлением программного обеспечения CVDWinPrC™, автоматически регистрируют данные и графически отображают зависящие от времени значения, согласно выбранным пользователем параметрам. CVDWinPrC™ также предоставляет пользователям возможность загружать предварительно запрограммированные наборы команд, изменять, проверять и создавать новые наборы команд, и просматривать текущие или сохраненные данные технологического процесса.

Протоколы безопасности

Системы оснащены протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.